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FLTZ-B面板系列Chiller

FLTZ-B面板系列Chiller

Chiller高精度冷热循环器 327

面板系列Panel Chiller

应用：
该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。
产品优势：
稳定运行：精确匹配行业需求，集成多种安全防护功能，保障面板工艺制程稳定运行。
温度范围广、控温精准：-20℃~120℃，控温精度最高达±0.01℃；
高效节能：采用全变频技术，结合压缩机余热回收，降低能耗20%；
氟化液损耗量少：闭式循环系统设计，减少氟化液高温挥发。
设备体积小：多通道整合，更高效的空间利用；

 

产品介绍产品型号

适用范围

应用：
该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。
产品优势：
稳定运行：精确匹配行业需求，集成多种安全防护功能，保障面板工艺制程稳定运行。
温度范围广、控温精准：-20℃~120℃，控温精度最高达±0.01℃；
高效节能：采用全变频技术，结合压缩机余热回收，降低能耗20%；
氟化液损耗量少：闭式循环系统设计，减少氟化液高温挥发。
设备体积小：多通道整合，更高效的空间利用；

型号 FLTZ-B-P001W FLTZ-B-D001W FLTZ-B-T001W
通道类型 1-loop independent 2-loop independent 3-loop independent
性能参数 通道型号 CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH3
温度范围 25~30℃ -20~90℃ 常温~90℃ 10~90℃ 10~90℃ 10~90℃
温度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷却能力 21kW@25℃ 35kW@5℃ 30kW@PCW+10℃ 7kW@10℃ 3kW@10℃ 8kW@10℃
加热能力 2kW 4kW 38kW 2kW 4kW 6kW
循环液类型/电导率 DI WATER @10~18MΩ·cm 乙二醇水溶液 乙二醇水溶液 氟化液HT-170 氟化液HT-170 氟化液HT-170
循环液流量压力 80LPM@0.5MPa 25LPM@0.4MPa 25LPM@0.4MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa
循环液接口 Rc1 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
PCW温度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 3.6m³/h 6m³/h 5.5m³/h 3.5m³/h
PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc1 Rc1 1/4 Rc1
安全装置 过载保护功能 压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
电源保护功能 电源过电流、过欠压、缺相等保护
液位保护 低流量、低液位等保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO装置
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型 支持多种通讯协议 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境 环境温度 10~40℃
环境湿度 30~70%RH
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
电源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 60*105*135 78*100*190 85*100*180
型号 FLTZ-B-F001W
通道类型 4-loop independent
性能参数 通道型号 CH1 CH2 CH3 CH4
温度范围 -20~90℃ -20~90℃ 30~120℃ 30~120℃
温度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷却能力 12kW@10℃ 12kW@10℃ 5kW@30℃ 5kW@30℃
加热能力 6kW 6kW 20kW 40kW
循环液类型/电导率 氟化液HT-135 氟化液HT-135 氟化液HT-170 氟化液HT-170
循环液流量压力 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 50LPM@0.5MPa
循环液接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
PCW温度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 1.5m³/h 1.5m³/h 2.3m³/h 3.5m³/h
PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc1 1/2
安全装置 过载保护功能 压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
电源保护功能 电源过电流、过欠压、缺相等保护
液位保护 低流量、低液位等保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO装置
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型 支持多种通讯协议 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境 环境温度 10~40℃
环境湿度 30~70%RH
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
电源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 120*160*185

1.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

2.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压力1.5bar~4bar

型号 FLTZ-B-P001W FLTZ-B-D001W FLTZ-B-T001W
通道类型 1-loop independent 2-loop independent 3-loop independent
性能参数 通道型号 CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH3
温度范围 25~30℃ -20~90℃ 常温~90℃ 10~90℃ 10~90℃ 10~90℃
温度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷却能力 21kW@25℃ 35kW@5℃ 30kW@PCW+10℃ 7kW@10℃ 3kW@10℃ 8kW@10℃
加热能力 2kW 4kW 38kW 2kW 4kW 6kW
循环液类型/电导率 DI WATER @10~18MΩ·cm 乙二醇水溶液 乙二醇水溶液 氟化液HT-170 氟化液HT-170 氟化液HT-170
循环液流量压力 80LPM@0.5MPa 25LPM@0.4MPa 25LPM@0.4MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa
循环液接口 Rc1 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
PCW温度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 3.6m³/h 6m³/h 5.5m³/h 3.5m³/h
PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc1 Rc1 1/4 Rc1
安全装置 过载保护功能 压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
电源保护功能 电源过电流、过欠压、缺相等保护
液位保护 低流量、低液位等保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO装置
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型 支持多种通讯协议 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境 环境温度 10~40℃
环境湿度 30~70%RH
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
电源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 60*105*135 78*100*190 85*100*180
型号 FLTZ-B-F001W
通道类型 4-loop independent
性能参数 通道型号 CH1 CH2 CH3 CH4
温度范围 -20~90℃ -20~90℃ 30~120℃ 30~120℃
温度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷却能力 12kW@10℃ 12kW@10℃ 5kW@30℃ 5kW@30℃
加热能力 6kW 6kW 20kW 40kW
循环液类型/电导率 氟化液HT-135 氟化液HT-135 氟化液HT-170 氟化液HT-170
循环液流量压力 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 50LPM@0.5MPa
循环液接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
PCW温度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 1.5m³/h 1.5m³/h 2.3m³/h 3.5m³/h
PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc1 1/2
安全装置 过载保护功能 压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
电源保护功能 电源过电流、过欠压、缺相等保护
液位保护 低流量、低液位等保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO装置
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型 支持多种通讯协议 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境 环境温度 10~40℃
环境湿度 30~70%RH
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
电源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 120*160*185

1.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

2.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压力1.5bar~4bar

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