Chiller直冷控温机组

接触式高低温测试机

设备应⽤温度范围-75~+200℃，⽀持从ji低温到⾼温的快速升温和降温，最快速率可达到75℃/min，能够精确的控制温度，误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发：在芯⽚设计阶段，验证其在不同温度下的性能表现；
质量控制：在芯⽚⽣产过程中，进⾏可靠性测试，确保产品符合标准；
失效分析：通过⾼低温测试，分析芯⽚在ji端温度下的实效模式。

设备型号		KSD-705-A	KSD-705-B	KSD-710
温度范围		-70℃~200℃	-75℃~+200℃	-75℃~200℃
温度精度		±0.2℃
升降温速率		最高达50℃/min	最高达75℃/min	最高达75℃/min
制冷能力	0℃	250W	1000W	2000W
	-40℃	150W	800W	1500W
	-55℃	100W	450W	900W

 

设备型号		KSDR-705-B	KSDR-710
温度范围		-75℃~+200℃	-75℃~200℃
温度精度		±0.2℃
升降温速率		最高达75℃/min	最高达75℃/min
制冷能力	0℃	1000W	2000W
	-40℃	800W	1500W
	-55℃	450W	900W

ZLTZ直冷控温机组Chiller

 

新型直冷机适用于半导体、数据中心、新能源等需要高效、紧凑、可靠且精确散热的行业,尤其是在功率密度高、空间受限且对温度敏感的领域有显着优势。新型直冷机无二次换热,相比于传统液冷设备,减少二次换热带来的传热损失,提升能效30%以上。新型直冷机能够提供纯液态的换热介质,相比于传统直冷机气液两相混合的换热介质,新型直冷机充分利用制冷剂的潜热换热,换热密度大幅提高,所需的换热面积减少,能够满足半导体等行业高功率密度的需求。新型直冷机具备多路供液的能力,可精确控制每个支路的制冷量,满足各
支路的控温需求。新型直冷机采用PT100高精度温度传感器和PID智能控制系统,温度误差范围ji小,控温精确可靠。

型号		ZLTZ-3 ZLTZ-3W	ZLTZ-6 ZLTZ-6W	ZLTZ-10 ZLTZ-10W	ZLTZ-15W
温度范围		-10℃ ~25℃
制冷量	0℃	8.1kW	16.25kW	28.5kW	40.2kW
	-10℃	5.48kW	11kW	19.35kW	26.6kW
接口尺寸	出口	φ12	φ12	φ28	φ28
	回口	φ20	φ20	φ35	φ35
水冷	25℃	2m3/h	4m3/h	6.2m3/h	10m3/h
冷却水接口		Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4

 

型号		ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W	ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W	ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W	ZLTZ4-15W
温度范围		-40℃ ~20℃
制冷量	-10℃	5.2kW	11.15kW	18.4kW	26.3kW
	-20℃	3.47kW	7.41kW	12.3kW	18.35kW
	-30℃	2.24kW	4.81kW	7.92kW	11.8kW
	-40℃	1.36kW	2.95kW	4.7kW	5.83kW
接口尺寸	出口	φ12	φ12	φ16	φ22
	回口	φ22	φ22	φ35	φ35
水冷	25℃	2m3/h	4.2m3/h	5.3m3/h	6.2m3/h
冷却水接口		Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1

ZLJ系列

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件（换热器）换热，从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体（气体）输送入换热器换热能力更高，这样特别适用于换热器换热面积小，但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体。

型号	ZLJ-41W	ZLJ-42W	ZLJ-43W
温度范围	-40℃～-15℃
控温精度	±1℃（出口温度稳态）
制冷AT-35℃	0.25kW	0.7kW	1.5kW
制冷剂	R404A 可选配R507C R448
高温降温	具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸 cm	20*57*65	30*55*65	33.5*60*65

 

型号	ZLJ-81W	ZLJ-82W	ZLJ-83W
温度范围	-80℃～-50℃
控温精度	±1℃（出口温度稳态）
制冷AT-70℃	0.3kW	0.6kW	1.5kW
制冷剂	R404A/R508B
高温降温	具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸 cm	20*57*65	30*55*65	33.5*60*65

 

型号	SLJ-3W	SLJ-4W	SLJ-6W	SLJ-11W
温度范围	-150℃～-110℃
制冷AT-120℃	3kW	4kW	6kW	11kW
制冷AT-135℃	2.5kW	3.3kW	5kW	9kW
制冷剂	LNEYA -150混合制冷剂
尺寸 cm	75*75*175	75*75*175	95*100*205	130*200*350
断路器	40A	55A	65A	100A

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快速温变控温卡盘CHUCK

该产品可以实现快速温度变化，精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机，避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗，每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。

系统提供开放的表⾯平整⼯作平台，快速升降温、恒温控制，运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试，也可以运⽤于实验室平板快速冷却（⾎浆、⽣物制品、电池）等

平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式，相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率，提⾼单位⾯积平板的换热功率。

 

卡盘定制系统
卡盘类型		GY-CP-8HCV		GY-CP-12HCV			GY-CP-SQ3434HCV
配套Chiller		GY-PCH-803 GY-PCH-803W	GY-PCH-805 GY-PCH-805W	GY-PCH-803 GY-PCH-803W	GY-PCH-805 GY-PCH-805W	GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W	GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W
温度范围		-45℃-200℃	-55℃-200℃	-45℃-200℃	-55℃-200℃	-65℃-200℃	-65℃-200℃
Chiller电源		380 VAC ± 10%，三相(可定制)
Chiller总功率		8.5kW	12.5kW	8.5kW	12.5kW	27.5kW	27.5kW
配套控温模组		DX-CHUCK-3
温度均匀性		土0.5℃
Chuck加热能力		1.5KW@DC48V		2.5KW@DC120V			3KW@DC48V
Chuck表面处理		镀镍/镀金
控温方式		内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温
如有其他需求，可非标定制