刻蚀镀膜车间用Chiller

刻蚀镀膜车间用Chiller丨纯水循环控温0.5℃冷却方案

2025/03/25 67

在刻蚀镀膜车间中，Chiller通过纯水循环控温系统实现0.5℃高精度冷却，其技术方案围绕传感器优化、热交换效率、动态补偿算法展开： 一、纯水循环控温系统架构 1、双循环独立控温 主循环：采用去离子水+乙二醇混合...

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